此时空的中国虽然在高精尖领域同样被禁运,但光刻机的制造材料除了最核心的光源等零部件和控制系统买不到,其他通用零部件还是在市场上流通的,几万个零部件,他其实没必要完全自己制造。
第一代光刻机从70年代出现到现在,已有近20年,安妙公司实行外包采购制,除了最核心的零部件自己研制生产,其他都是别的公司生产,象中国一般的国家,近年来已经可以采购第一代的零部件了。
李慧慧惊讶地问道:“颜君,你还没分析过这台二代改进型光刻机,现在就买材料和零部件,你不怕买到一堆不合用的废料回来吗?”
颜墨淡然一笑,道:“其实,光刻机原理我熟悉得很,从第1代到当前仅仅是概念的第3代光刻机的论文我都读过,我现在买的材料和零部件,是肯定要用到的。至于如光源等特殊零部件,可以等待分析后再定制或自制。
“其实高级光刻机除了零部件精度高外,最重要的是集成的软件控制系统,而软件,却是我的强项。当然,我的机械手工制作能力,肯定也会出乎你的想象。”
李慧慧听了他的话,秀丽的脸上不由得露出惊愕的表情,原来以为他没接触过光刻机,技术储备肯定为零,不过,看样子自己想岔了。他对光刻机的熟悉,也许真的出乎自己的意料。
但是,她还是不会相信他能做出光刻机,这是摆明了的,这些论文,全世界的科学家都看得到,全世界的机械制造厂都看得到,但做出光刻机来的厂家,又有多少家呢?还不是只有廖廖数家?
所以,她嗤笑一声,道:“颜君,我相信你懂这些原理。不过,世上还有句话叫做知易行难!
“有些东西不是知道理论就能做出来的,比如光刻机的光源分辨率,它是建立在超高级地工艺基础上的,你明白原理却没有这种机械动作精确到误差仅以‘纳秒(十亿分之一秒)计的工艺,有用吗?”
颜墨淡淡一笑,道:“慧慧姐,咱们现在没必要再做口舌之争,当前是工作之时。我知道你胸襟开阔,不是那种小肚鸡肠的人,所以我衷心地希望你能放下成见,在这段时间里齐心协力的配合我推进这项伟大的工作。”
李慧慧听他如此说,心中微微一热,感觉到颜墨这个人虽然自信得狂妄无比,但至少没有小看她,眼光还是不错的。
她认真的道:“当然,打赌是打赌,但我肯定不会对你的工作造成干扰。我一定会全力以赴的助你去做这件事,免得到时候你输了,又来赖我阻挠你!”
颜墨哈哈一笑,道:“那就好,拜托了!”
其实,经过一夜的努力,巫灵和鹤灵已经将安妙公司的光刻机内部最精密的部件差不多都克隆一份了,可以说是“渺秒”不差,现在没做的只是外部的大块头和一些芯片而已。
并且,智灵也将整合各个光刻机零部件的电子控制系统软件复制汉化了,汉字操作手册也已经制作出来了,如今它正按颜墨的设计思路,编制更先进的控制系统软件。
他是真的已经胜券在握了!
不过,这个时候还不是揭开底牌的时候,并且,仅仅是克隆这台第二代最先进的光刻机并不是他的初衷,他要开发出第三代全硅片扫描投影式光刻机,实现双工件台系统和浸没式光刻技术,占领光刻机知识产权的制高点。
浸没式光刻是指在物镜和硅片之间增加一层特殊的液体,由于液体的折射率比空气的折射率高,因此成像精度更高。因此,也就有了浸没式光刻的叫法。
到目前为止,世界上的光刻机,都只有一个工作台,所有流程都在一个工作台上完成。
而双工件台系统,能使光刻机在不改变初始速度和加速度的条件下,当一个工作台在进行曝光工作的同时,另外一个工作台可以同时进行曝光之前的预对准工作,使得光刻机的生产效率提高大约35%。
虽然看起来仅仅是增加一个工作台,但技术难度却不容小觑——对换台的速度和精度有非常高的要求,如果换台速度慢,则影响光刻机工作效率;如果换台精度不够,则可能因此而影响了后续扫描光刻等步骤的正常开展。
特别是对浸没式光刻机而言,由于物镜和硅片之间增加一层特殊的液体,如何使液体在换台时依旧停留在物镜和硅片之间,不因换台发生流动,则是一个不小的技术难题。
在前世时空,光刻机发展的历程中,双工件台系统和浸没式光刻就一个重要的节点,这两项技术的出现,大大提高了芯片的生产效率和良品率。
并且,第三代改良了扫描投影模式,加入了物镜,进行光学矫正。一改第二代接近式光刻机成像不好的弊端。
所以,颜墨的雄心壮志,岂是面前的这个李慧慧所能了解?
第六百五十二章 采购零部件,剑指三代机[2/2页]